欧美成人免费在线观看_99国产在线精品视频_欧美午夜福利在线不卡_91精品国产高清在线重_亚洲国产精品在线porn_欧美日韩亚洲一区二区三区一_好大好硬好爽18禁视频免费_动漫纯肉黄无码动漫日本_国产精品夫妇免费看_男人看片网站在线观看

技術文章/ article

您的位置:首頁  -  技術文章  -  什么是踏步機?

什么是踏步機?

更新時間:2024-12-18      瀏覽次數:782

步進曝光機是一種用于光刻(半導體和液晶制造工藝)的投射曝光設備。

隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對大于實際尺寸的掩模圖案進行縮小投影曝光時進行分步重復曝光的曝光設備

步進機是一種曝光設備,通過執行步進和重復來曝光整個待曝光區域。

步進機的使用

步進機用于半導體和液晶的制造,特別是用于光刻過程中使用掩模的曝光處理。

步進法包括步進重復法和步進重復法,其中,由于一次可以轉移的面積較小,因此在步進時將晶圓順序曝光;以及步進重復法,其中稱為掃描儀的標線和存在一種使用步進機進行曝光的類型,該類型與步進機不同,并且可以將其視為掃描儀。

步進原理

為了對大直徑晶圓和液晶進行高速縮小投影曝光,步進機使用短波長的光源以獲得高分辨率,并將IC掩模圖案投影并曝光在光罩上后,移動平臺曝光晶圓的過程涉及重復多次圖案曝光。步進機的內部結構包括曝光光源、投影鏡頭、晶圓臺、晶圓裝載機等。

由于IC大規模集成的需求,已開始使用波長較短的曝光光源。這是因為小型化是理想的,并且一般來說,用于曝光的光的波長越短,分辨率越高。 20世紀90年代,365 nm的i線是主要焦點,但此后波長變得更短,例如Krf(波長248 nm)和Arf(波長193 nm)。

晶圓載物臺是為了更快、更高效地制造IC和其他半導體而高速移動晶圓的載物臺。除了高速移動之外,由于精細加工還需要高定位精度。晶圓裝載機負責傳送晶圓,例如從晶圓臺上取出晶圓并將晶圓放置在其上。

異物的粘附是IC制造中的一大敵人,精密的晶圓必須高速裝載和卸載。步進機具有上述結構,一邊使晶圓步進一邊進行順序曝光。


產品分類

products category

關于我們
新聞資訊
聯系我們
產品中心
掃一掃
加微信
版權所有©2025 深圳市京都玉崎電子有限公司 All Rights Reserved   備案號:粵ICP備2022020191號   sitemap.xml   技術支持:化工儀器網   管理登陸

TEL:

掃碼添加微信
国产精品尤物| 欧美无专区| brazzers欧美| 精品国产亚洲AV| 国产一级视频| 欧美老熟妇一区二区三区| 末成年女AV片一区二区三区 | 国产黄片一区二区| 久久99精品国产| 国产AV不卡| 1级毛片| 人妻色图| 日韩黄色精品| 一起操网址| 又白又嫩毛又多12P| 色婷婷精品久久二区二区蜜臂av| 婷婷婷月天| 亚洲欧美日韩国产| 欧美呦呦| 欧美午夜伦理| 免费无码在线| 日本巜侵犯人妻人伦| 日韩一区欧美| 亚洲一区二区免费在线观看| 99精品在线| 精品国产乱码久久久久电车痴汉久| 日韩成人中文字幕| wwwav在线| av中文字幕一区| 日韩国产在线| 亚洲精品白浆高清久久久久久| 亚洲视频在线免费观看| 中文无码日本一级A片久久影视| wwwxxx国产| 国产免费无码一区二区| 嫩草九九九精品乱码一二三| 亚洲无码小电影| 高清视频一区二区| 成人影片免费观看| 婷婷在线观看视频| 在线观看国产黄|